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透射电子「显微镜(transmission electron microscope,TSE)利用透射电子成像,样品要求高,其厚度不能◤超100nm。结构包括:电子学系统、真空系统和电子光学系统。 扫描电子显▽微镜 (scanning electron microscopy,SEM) 利用聚焦的高能电子束扫描,然后通过信息的接受、放大来︻显示成像,可以进行样品表面形貌的观察。结构包括:真空系统,电子束系统以及成像系统。
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